Патенты с меткой «силицида»
Способ формирования пленки силицида титана для производства интегральных микросхем
Номер патента: 17953
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Колос Владимир Владимирович, Трусов Виктор Леонидович, Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 21/44, B08B 7/00
Метки: производства, пленки, формирования, титана, силицида, способ, интегральных, микросхем
Текст:
...характеристик нагреваемого материала, а именно соотношения коэффициентов отражения, поглощения и пропускания материала в спектральном диапазоне источника излучения. Таким образом, температура тел, находящихся в реакторе быстрой термической обработки, различается. В этом случае, контроль температуры полупроводниковой пластины с помощью термопары, располагающейся в реакторе, не дает адекватных результатов. Для контроля температуры...