Патенты с меткой «полупроводниковую»

Номер патента: 8979

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: H01L 21/28, H01L 21/31

Метки: нанесения, структуру, способ, полипиромеллитимидной, полупроводниковую, пленки

Текст:

...положительную роль. Однако химическое взаимодействие ПАК с алюминием заметно сильнее,протекает при более низкой температуре и оксид в данном случае играет отрицательнуюроль. Кроме того, он проявляет основные свойства И при температуре выше 400 С, используемой для рекристаллизации металлических пленок и формирования контактов межсоединений, разрушает полиимид в области контакта (на границе раздела), вступая с ним в химическую реакцию....