Патенты с меткой «полипиромеллитимидной»
Способ нанесения полипиромеллитимидной пленки на полупроводниковую структуру
Номер патента: 8979
Опубликовано: 28.02.2007
Авторы: Емельянов Антон Викторович, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович
МПК: H01L 21/31, H01L 21/28
Метки: структуру, способ, пленки, полипиромеллитимидной, нанесения, полупроводниковую
Текст:
...положительную роль. Однако химическое взаимодействие ПАК с алюминием заметно сильнее,протекает при более низкой температуре и оксид в данном случае играет отрицательнуюроль. Кроме того, он проявляет основные свойства И при температуре выше 400 С, используемой для рекристаллизации металлических пленок и формирования контактов межсоединений, разрушает полиимид в области контакта (на границе раздела), вступая с ним в химическую реакцию....