Патенты с меткой «дисилицида»
Способ формирования пленки дисилицида титана на кремниевой подложке
Номер патента: 16839
Опубликовано: 28.02.2013
Авторы: Стельмах Вячеслав Фомич, Турцевич Аркадий Степанович, Чапланов Аркадий Михайлович, Адашкевич Сергей Владимирович, Маркевич Мария Ивановна, Колос Владимир Владимирович
МПК: H01L 21/02, C23C 14/16
Метки: пленки, способ, кремниевой, подложке, дисилицида, титана, формирования
Текст:
...сжатия более 1 ГПА, а при температурах более 450 С - напряжения растяжения более 1 ГПА, что ухудшает адгезию пленок титана и приводит к формированию дефектов в структуре кремния. В случае выдержки при температуре напыления титана менее 12 с процессы поверхностной диффузии осажденных атомов (кластеров) пленки титана и уменьшения энергии поверхностных состояний остаются незавершенными, что приводит к последующему взаимодействию пленки титана с...
Устройство для формирования пленки дисилицида титана на кремниевой подложке
Номер патента: U 8344
Опубликовано: 30.06.2012
Авторы: Адашкевич Сергей Владимирович, Чапланов Аркадий Михайлович, Маркевич Мария Ивановна, Стельмах Вячеслав Фомич, Колос Владимир Владимирович
МПК: H01L 21/44
Метки: подложке, титана, пленки, дисилицида, устройство, кремниевой, формирования
Текст:
...свойств пленки титана 2 совмещен с блоком перемещения кремниевой подложки 18. Устройство формирования пленки дисилицида титана на кремниевой подложке(фиг. 1) работает следующим образом. Кремниевая подложка через элемент загрузки 13 поступает в блок нанесения пленки титана 1, где осуществляется, как в известном устройстве 3, операция нанесения на поверхность кремниевой подложки пленки титана, например, способом магнетронного напыления,...