Установка для напыления с приводом вращения катода

(51) МПК (2009) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ УСТАНОВКА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ С ПРИВОДОМ ВРАЩЕНИЯ КАТОДА(71) Заявитель Государственное учреждение высшего профессионального образования Белорусско-Российский университет(72) Авторы Логвин Владимир Александрович Апатов Денис Михайлович(73) Патентообладатель Государственное учреждение высшего профессионального образования Белорусско-Российский университет(57) Установка для напыления с приводом вращения катода, содержащая вакуумную камеру, внутри которой установлены устройство для движения, плазмотрон, имеющий анод,катод, отличающаяся тем, что катод установлен на шестерне с возможностью вращения вокруг ее оси, кинематическую связь с шестерней имеют подвижные зубчатые колеса,расположенные по периметру катода, вместе образующие устройство для вращения, на подвижных зубчатых колесах закреплены изделия, подлежащие обработке, и система электромагнитов установлена на катоде и корпусе вакуумной камеры по периметру.(56) 1. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005,2. Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала он-лайн найдено 200904-06. Найдено из Интернет ////////20052/49-52 2. Патент РФ на полезную модель 77610, МПК С 23 С 14/56, 2008. Полезная модель относится к машиностроению, в частности к нанесению износостойких покрытий на режущий инструмент. Известна трехпозиционная вакуумная установка для нанесения тонких пленок в вакууме, содержащая вакуумную камеру, подложкодержатель, привод вращения подложкодержателя 1. Описанная выше установка имеет привод вращения подложкодержателя от электропривода, что увеличивает ее габаритные размеры и расход электроэнергии. Наиболее близким по технической сущности и достигаемым результатам является устройство для нанесения защитных покрытий содержащее вакуумную камеру, устройство для движения, плазмотрон 2. Данная установка, применяемая за прототип, не имеет возможности наносить напыление на тела вращения. Задачей данной полезной модели является повышение качества нанесения износостойких покрытий на тела вращения, уменьшение габаритов установки, энергосбережение. Данная задача достигается тем, что установка для напыления с приводом вращения катода, содержащая вакуумную камеру, внутри которой установлены устройство для движения, плазмотрон, имеющий анод, катод, согласно полезной модели, катод установлен на шестерне с возможностью вращения вокруг ее оси, кинематическую связь с шестерней имеют подвижные зубчатые колеса, расположенные по периметру катода, вместе образующие устройство для вращения, на подвижных зубчатых колесах закреплены изделия,подлежащие обработке, и система электромагнитов установлена на катоде и корпусе вакуумной камеры по периметру. Благодаря тому, что обрабатываемые детали, имеющие форму тел вращения, двигаются планетарно, происходит равномерное нанесение износостойкого покрытия. Применение системы электромагнитов позволяет уменьшить габаритные размеры установки и снизить расходы электроэнергии благодаря отказу от применения электродвигателя и системы приводного механизма. Сущность полезной модели поясняется иллюстрациями, на которых схематично изображено заявляемое устройство. На фиг. 1 показан продольный разрез заявляемого устройства, на фиг. 2 - поперечный разрез. Анод 2 и плазмотрон 3 расположены соответственно на верхней и боковой стенках вакуумной камеры 1. У основания расположена шестерня 10,состоящая в зацеплении с подвижными зубчатыми колесами 9, которые жестко закреплены с подложками 5 и обрабатываемыми деталями 4. На шестерне 10 установлен катод 6. На катоде и корпусе вакуумной камеры по периметру расположена система электромагнитов 7, 8. Катод 6 получает вращение от системы электромагнитов, которая состоит из электромагнита 7, расположенного на катоде, и электромагнитов 8, расположенных на корпусе по периметру вакуумной камеры. За счет того, что на электромагниты 8, взаимодействующие с электромагнитом 7, подается сигнал поочередно (по направлению вращения), катод 6 получает вращательное движение. Катод 6 защищает от напыления шестерню и подвижные зубчатые колеса. При вращении катода 6, обрабатываемые изде 2 61152010.04.30 лия 4 начинают двигаться планетарно, что достигается устройством для движения, состоящего из кинематической связи между шестерней 10 и подвижными зубчатыми колесами 9. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3