Апатов Денис Михайлович

Установка для напыления с приводом вращения катода

Загрузка...

Номер патента: U 6115

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Апатов Денис Михайлович

МПК: C23C 14/00

Метки: катода, вращения, приводом, напыления, установка

Текст:

...полезной модели является повышение качества нанесения износостойких покрытий на тела вращения, уменьшение габаритов установки, энергосбережение. Данная задача достигается тем, что установка для напыления с приводом вращения катода, содержащая вакуумную камеру, внутри которой установлены устройство для движения, плазмотрон, имеющий анод, катод, согласно полезной модели, катод установлен на шестерне с возможностью вращения вокруг ее оси,...