Апатов Денис Михайлович
Установка для напыления с приводом вращения катода
Номер патента: U 6115
Опубликовано: 30.04.2010
Авторы: Логвин Владимир Александрович, Апатов Денис Михайлович
МПК: C23C 14/00
Метки: катода, вращения, приводом, напыления, установка
Текст:
...полезной модели является повышение качества нанесения износостойких покрытий на тела вращения, уменьшение габаритов установки, энергосбережение. Данная задача достигается тем, что установка для напыления с приводом вращения катода, содержащая вакуумную камеру, внутри которой установлены устройство для движения, плазмотрон, имеющий анод, катод, согласно полезной модели, катод установлен на шестерне с возможностью вращения вокруг ее оси,...