Устройство для контроля лазерных технологических процессов

ОПИСАНИЕ ПОЛЕЗНОЙ МОДЕЛИ К ПАТЕНТУ(54) УСТРОЙСТВО для КОНТРОЛЯ ЛАЗЕРНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ(71) Заявители Государственное научное учреждение Институт молекулярной И атомной физики Национальной академии наук Беларуси Государственное научное учреждение Институт физики имени Б.И. Степанова Национальной академии наук Белару(72) Авторы Чивель Юрий Александрович Белявин Климентий Евгеньевич Казак Николай Станиславович Узунбаджаков Александр Сергеевич (ВУ)(73) Патентообладатели Государственное научное учреждение Институт молекулярной и атомной физики Национальной академии наук Беларуси Государственное научное учреждение Ин си (ВУ) ститут физики имени Б.И. Степанова Национальной академии наук БеларусиУстройство для контроля лазерных технологических процессов, содержащее видеокамеру с объективом, оптически связанную с фокусирующей системой лазера, отличающееся тем, что устройство дополнительно снабжено оптически связанными поворотным зеркалом, промежуточным объективом, двумя дихроичными зеркалами, компенсирующей пластиной, микроканальной пластиной с блоком управления, причем поворотное зеркало,промежуточный объектив совместно с фокусирующей системой лазера, дихроичными зеркалами и компенсирующей пластиной выполнены с возможностью построения двух идентичных изображений области обработки в свете двух длин волн в плоскости фотока тода микрокаиальной пластинки.2. 1. Вое 51 е, Е.77.Кгеи 2 е а 1. // Ртосеебйпз оГ 1 ш. СопГ. Ьазет Тес 11 по 1 о 31 е 5 ш Шешйп апб Магег 1 а 15 Ргосе 551 п 3, КагзйуеИ, Пкгайпе. - Р.217-221, 2003.Устройство относится К области измерительной техники И может быть использовано для контроля И управления технологическими процессами с применением лазеров.Известно устройство для контроля лазерных технологических процессов 1, содержащее видеокамеру с объективом.Недостатком данного устройства является ограниченное число измеряемых параметров технологического процесса.Наиболее близким по технической сущности к заявляемому является устройство для контроля лазерных технологических процессов 2, содержащее видеокамеру с объективом, оптически связанную с фокусирующей системой лазера.Недостатком данного устройства является ограниченное число измеряемых параметров технологического процесса.Задачей данной полезной модели является расширение функциональных возможностей устройства для контроля лазерных технологических процессов.Для выполнения поставленной задачи предложено устройство для контроля лазерных технологических процессов, содержащее видеокамеру с объективом, оптически связанную с фокусирующей системой лазера.Новым, по мнению авторов, является то, что устройство дополнительно снабжено оптически связанными поворотным зеркалом, промежуточным объективом, двумя дихроичными зеркалами, компенсирующей пластиной, микроканальной пластиной с блоком управления, причем поворотное зеркало, промежуточный объектив совместно с фокусирующей системой лазера, дихроичными зеркалами и компенсирующей пластиной вь 1 полнены с возможностью построения двух идентичных изображений области обработки в свете двух длин волн в плоскости фотокатода микроканальной пластинки.Сущность полезной модели поясняется чертежом, на котором представлен общий вид предлагаемого устройства (фиг. 1).Устройство содержит видеокамеру 1 с объективом 2, оптически связанную с фокусирующей системой лазера, в виде дихроичного зеркала 3 и фокусирующего объектива 4,поворотное зеркало 5, промежуточный объектив 6, два дихроичных зеркала 7, 8, компенсирующую пластину 9, микроканальную пластину 10.Устройство работает следующим образом. Пучок лазера 2 с помощью дихроичного зеркала 3 и фокусирующего объектива 4 фокусируется на поверхность обрабатываемого образца. Промежуточный объектив 6 совместно с фокусирующей системой лазера, поворотным зеркалом 5 и дихроичными зеркалами 7, 8 строит два идентичных изображения области обработки в свете двух длин волн в плоскости фотокатода микроканальной пластинки(МКП). Усиленное изображение передается с экрана МКП на чувствительный элемент видеокамеры 1. МКП выполняет функции усилителя яркости и светозатвора. Изображение обрабатывается на компьютере в режиме реального времени. Помимо общей картины области обработки и полей интенсивности свечения в свете 2-х длин волн методом спектрального отнощения определяется поле температур на поверхности образца. Наличие затвора позволяет выбирать момент начала и длительность регистрации и фиксировать параметры нужной стадии технологического процесса.Таким образом, заявляемая полезная модель обеспечивает существенное расширение возможностей устройства для контроля лазерных технологических процессов.Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.