Васильев Юрий Борисович
Способ формирования геттерного слоя в пластине кремния
Номер патента: 18107
Опубликовано: 30.04.2014
Авторы: Садовский Павел Кириллович, Белоус Анатолий Иванович, Челядинский Алексей Романович, Плебанович Владимир Иванович, Оджаев Владимир Борисович, Васильев Юрий Борисович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 21/322
Метки: слоя, способ, формирования, пластине, геттерного, кремния
Текст:
...транзистора от тока коллектора. Для формирования геттерного слоя пластины кремния -типа с удельным сопротивлением 10 Омсм имплантировались в нерабочую сторону ионамис энергией 60 кэВ и дозой 21015 см-2. После имплантации проводилась термообработка при температуре 850 С в течение 30 мин для электрической активации внедренной примеси. Измерения показали,что степень электрической активации сурьмы после отжига составила 21(слоевая...