Патенты с меткой «геттерного»
Способ формирования геттерного слоя в пластине кремния
Номер патента: 18107
Опубликовано: 30.04.2014
Авторы: Челядинский Алексей Романович, Садовский Павел Кириллович, Плебанович Владимир Иванович, Турцевич Аркадий Степанович, Белоус Анатолий Иванович, Васильев Юрий Борисович, Оджаев Владимир Борисович
МПК: H01L 21/322
Метки: пластине, кремния, способ, геттерного, формирования, слоя
Текст:
...транзистора от тока коллектора. Для формирования геттерного слоя пластины кремния -типа с удельным сопротивлением 10 Омсм имплантировались в нерабочую сторону ионамис энергией 60 кэВ и дозой 21015 см-2. После имплантации проводилась термообработка при температуре 850 С в течение 30 мин для электрической активации внедренной примеси. Измерения показали,что степень электрической активации сурьмы после отжига составила 21(слоевая...