Тимошков Юрий Викторович
Устройство для определения местоположения подвижного микрообъекта
Номер патента: 17982
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Тимошков Юрий Викторович, Курмашев Виктор Иванович, Сакова Анастасия Александровна, Тимошков Вадим Юрьевич
МПК: H01L 27/22, G01B 7/004
Метки: подвижного, определения, микрообъекта, устройство, местоположения
Текст:
...элементов Холла (3), поверх которой расположен изоляционный слой(4) подвижного микрообъекта (5) с интегрированным в него магнитным высококоэрцитивным участком с перпендикулярной анизотропией (6). Структура в разрезе А-А состоит из подложки (1), матрицы элементов Холла (3), изоляционного слоя (4) подвижного микрообъекта (5) с интегрированным в него магнитным высококоэрцитивным участком с перпендикулярной анизотропией (6). Одиночный элемент...