G01B 7/004 — для измерения координат точек

Номер патента: 17982

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Курмашев Виктор Иванович, Тимошков Вадим Юрьевич, Сакова Анастасия Александровна, Тимошков Юрий Викторович

МПК: G01B 7/004, H01L 27/22

Метки: устройство, подвижного, местоположения, микрообъекта, определения

Текст:

...элементов Холла (3), поверх которой расположен изоляционный слой(4) подвижного микрообъекта (5) с интегрированным в него магнитным высококоэрцитивным участком с перпендикулярной анизотропией (6). Структура в разрезе А-А состоит из подложки (1), матрицы элементов Холла (3), изоляционного слоя (4) подвижного микрообъекта (5) с интегрированным в него магнитным высококоэрцитивным участком с перпендикулярной анизотропией (6). Одиночный элемент...