H01L 21/56 — герметизация, например пленками или покрытиями

Номер патента: 18641

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Зубович Анатолий Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Довженко Александр Алексеевич, Керенцев Анатолий Федорович

МПК: H01L 31/0203, H01L 21/56

Метки: корпуса, способ, схемы, герметизации, интегральной

Текст:

...средой, а инертную среду в скафандре поддерживают с избыточным давлением не менее 0,2 кПа и точкой росы не выше 30 С. Благодаря ИК-нагреву в вакууме с остаточным давлением менее 60 кПа отмечается эффективное удаление влаги из основания корпуса с прихваченной крышкой. Увеличение остаточного давления инертного газа более 60 кПа приводит к снижению эффективности удаления влаги. Проведение ИК-нагрева в вакууме при температуре менее 110 С и времени...