Плиговка Андрей Николаевич
Способ изготовления тонкопленочного конденсатора
Номер патента: 15861
Опубликовано: 30.06.2012
Авторы: Плиговка Андрей Николаевич, Мозалев Александр Михайлович
МПК: H01G 4/33, C25D 11/12
Метки: конденсатора, изготовления, тонкопленочного, способ
Текст:
...равна толщине слоя АОА) необходимо рассчитать величину напряжения реанодирования по формуле 1 и толщину напыляемой вспомогательной пленки тантала по формуле 2. Для предотвращения обрыва токоподвода к анодируемым участкам первого слоя алюминия величина ТП должна превышать величину ВП. Маска из защитной пленки тантала должна иметь толщину, которая полностью исключит возможность окисления защищаемой поверхности алюминия при пористом...