G03F 7/32 — жидкие составы для этих целей, например проявители

Номер патента: 11541

Опубликовано: 28.02.2009

Авторы: Бахматова Надежда Андреевна, Кисель Анатолий Михайлович, Плебанович Владимир Иванович, Медведева Анна Борисовна, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: G03F 7/32

Метки: проявления, фоторезиста, позитивного, состав

Текст:

...бак установки приготовления растворов расчетный объем воды. 2.3. Взвесить расчетные массы гидроксида натрия, синтанола АЛМ-10, полиэтиленгликоля 4000 и высыпать в транспортную емкость. 2.4. Перемешать полученный состав. Оптимальные пределы концентраций основных компонентов заявляемого состава подтверждены примерами. Для приготовления заявляемого состава были взяты различные концентрации гидроксида натрия, синтанола АЛМ-10, полиэтиленгликоля...

Номер патента: 8800

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Костко Олег Владимирович, Костко Владимир Семенович

МПК: G03C 5/58, G03F 7/32

Метки: изображения, диэлектрическую, нанесения, способ, подложку, рельефного

Текст:

...нанесение на нее последовательно слоя металла(хром), слоя полупроводника (дийодид олова), экспонирование через трафарет ультрафиолетовым или видимым светом и закрепление в водном растворе, отличающийся тем,что с целью одновременного создания твердого, коррозионностойкого металлического изображения, светочувствительной структуры и сокращения числа операций обработки на диэлектрическую поверхность наносят слой хрома толщиной 40-100 нм,...