C23F 1/26 — для травления тугоплавких металлов

Номер патента: 1032

Опубликовано: 14.03.1996

Автор: Апанович Леонтий Васильевич

МПК: C23F 1/26

Метки: травления, тантала, раствор

Текст:

...схем.Целью изобретения является улучшеПосле нанесении пленки тантала накремниевую подложку в установке вакуумного напыления плазменным распылением ее извлекают из установки. и на ппенкутантала наносят фоторезис-т. вскрывают контактные окна в нем. затем высушивают. В результате на поверхности пленки тантала в скрытых контактных окнах образуется тонкий слой оксида тантала.Известный раствор, содержащий фтористоводородную кислоту в смеси с...