C23C 16/26 — осаждение только углерода

Номер патента: 17461

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Акула Игорь Петрович, Чекан Николай Михайлович, Акулич Валерий Владимирович

МПК: G02B 5/22, C23C 16/26

Метки: углеродосодержащее, детали, светопоглощающее, корпусной, приемника, покрытие, способ, оптического, излучения, получения

Текст:

...поглощения 0,95-0,97, обеспечивающего повышение срока эксплуатации оптических приборов, работающих в различных условиях окружающей среды. Наиболее распространенным способом получения алмазоподобных углеродных покрытий является радиочастотное (РЧ) плазмохимическое осаждение из паровой фазы 6, 7. В качестве исходного материала обычно используется смесь газов (22, 4, , 2 и др.) в определенной пропорции. Типичными условиями осаждения при этом...

Номер патента: 16244

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: Федосенко Николай Николаевич, Рогачев Александр Владимирович, Пилипцов Дмитрий Геннадьевич

МПК: C23C 16/26, C23C 14/24, C23C 14/06...

Метки: покрытия, вакууме, способ, углеродного, формирования

Текст:

...следующем. Способ формирования углеродных пленок из плазмы сильноточного импульсного катодно-дугового разряда сложной формы основан на эффекте эрозии катода из графита при действии импульсного катодно-дугового разряда в вакууме, формировании направленного к подложке потока плазмы и конденсации ее на подложку. Изменение амплитуды напряжения импульса и его длительности позволяет регулировать величину среднего тока разряда, который в свою...