C23C 14/58 — последующая обработка
Способ получения пленок феррит-шпинели
Номер патента: 16206
Опубликовано: 30.08.2012
Авторы: Труханов Алексей Валентинович, Пашкевич Михаил Викторович, Новицкий Николай Николаевич, Стогний Александр Иванович
МПК: C23C 14/58, H01F 10/20, C23C 14/06...
Метки: способ, получения, пленок, феррит-шпинели
Текст:
...30-60 минут в среде кислорода. Сущность изобретения заключается в следующем полированные пластины кремния ориентации (100), диаметром 76 мм служили подложками и препарировались по стандартной методике. Составная мишень формировалась компактированнием керамических образцов (1-)24 заданного состава в виде полиэдров размерами (8055 мм). 2 16206 1 2012.08.30 Распыление мишени производилось в среде кислорода при температуре внутри камеры 905...