Патенты с меткой «феррит-шпинели»

Номер патента: 16206

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: Пашкевич Михаил Викторович, Стогний Александр Иванович, Новицкий Николай Николаевич, Труханов Алексей Валентинович

МПК: C23C 14/58, H01F 10/20, C23C 14/06...

Метки: получения, способ, пленок, феррит-шпинели

Текст:

...30-60 минут в среде кислорода. Сущность изобретения заключается в следующем полированные пластины кремния ориентации (100), диаметром 76 мм служили подложками и препарировались по стандартной методике. Составная мишень формировалась компактированнием керамических образцов (1-)24 заданного состава в виде полиэдров размерами (8055 мм). 2 16206 1 2012.08.30 Распыление мишени производилось в среде кислорода при температуре внутри камеры 905...