B28D 5/02 — с помощью вращающихся инструментов, например сверл
Способ резки слитков кремния на пластины
Номер патента: 8451
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Зеленин Виктор Алексеевич, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: H01L 21/304, H01L 21/302, B28D 5/02...
Метки: способ, пластины, слитков, кремния, резки
Текст:
...слитка не происходит из-за высокой жесткости последнего. Все это значительно стабилизирует процесс резки и снижает осевое биение режущего круга. Снижение осевого биения режущего круга приводит к более равномерному распределению и снижению глубины нарушенных слоев на поверхностях отрезаемых пластин и к 3 8451 1 2006.08.30 заметному улучшению геометрических параметров отрезаемых пластин - уменьшается прогиб пластин и исчезает микроволнистость...