Агафонов Владимир Михайлович

Номер патента: 3059

Опубликовано: 30.12.1999

Авторы: Юрченок Лариса Григорьевна, Закроева Нина Михайловна, Агафонов Владимир Михайлович

МПК: H01L 31/18

Метки: мпм-фотодиода, изготовления, способ

Текст:

...формируются электроды напылениеми последующим удалением фоторезистивной маски, после чего делается процесс фотолитографии и проводится последовательно плазмохимическое травление диэлектрика и сильнолегированного эпитаксиального слоядо полуизолирующей подложки , далее формируются металлические выводы к электродам на основе барьеров Шоттки с помощью напыленияи последующей фотолитографии и в завершение проводится пассивация поверхности...