Патенты с меткой «разводки»
Способ формирования разводки
Номер патента: 7142
Опубликовано: 30.06.2005
Авторы: Шкловская Жанна Мечиславовна, Тептеев Алексей Алексеевич, Согрина Елена Вячеславовна
МПК: H01L 21/28
Метки: формирования, способ, разводки
Текст:
...напыляют слой никеля толщиной 0,15 мкм. После чего формируют фоторезистивную маску с рисунком разводки. Затем через эту маску вытравливают напыленные ранее слои металла до слоя нижнего никеля. Фоторезистивную маску удаляют. Полученный рельеф слоев металла покрывают слоем никеля толщиной 0,1-0,15 мкм и золота толщиной более 1,0 мкм соответственно через сформированную фоторезистивную маску с размерами на 2-5 мкм щире с каждой стороны, чем...
Полиимидная композиция для создания блока многоуровневой разводки
Номер патента: 5976
Опубликовано: 30.03.2004
Авторы: Бобровский Антон Петрович, Прибыльский Александр Васильевич, Емельянов Виктор Андреевич, Прокопчук Николай Романович, Мартинкевич Александр Александрович, Крутько Эльвира Тихоновна
МПК: C08L 79/08
Метки: разводки, создания, блока, полиимидная, композиция, многоуровневой
Текст:
...лаков и красок. Использование его для улучшения механических и термических характеристик полиимидных пленочных материалов неизвестно 3, 4. Предлагаемая полиимидная композиция для создания блока многоуровневой разводки интегральных микросхем готовится следующим образом к раствору полиамидокислоты, на основе 4,4-диаминодифенилоксида и пиромеллитового диангидрида в полярном апротонном растворителе добавляют расчетное количество...