Согрина Елена Вячеславовна

Номер патента: 7142

Опубликовано: 30.06.2005

Авторы: Согрина Елена Вячеславовна, Шкловская Жанна Мечиславовна, Тептеев Алексей Алексеевич

МПК: H01L 21/28

Метки: разводки, способ, формирования

Текст:

...напыляют слой никеля толщиной 0,15 мкм. После чего формируют фоторезистивную маску с рисунком разводки. Затем через эту маску вытравливают напыленные ранее слои металла до слоя нижнего никеля. Фоторезистивную маску удаляют. Полученный рельеф слоев металла покрывают слоем никеля толщиной 0,1-0,15 мкм и золота толщиной более 1,0 мкм соответственно через сформированную фоторезистивную маску с размерами на 2-5 мкм щире с каждой стороны, чем...