Патенты с меткой «дозиметрии»

Номер патента: 12198

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Воробей Александр Васильевич, Пинчук Сергей Владимирович

МПК: G01J 1/04

Метки: дозиметрии, излучения, способ, ультрафиолетового

Текст:

...используют водный раствор триптофана в концентрации 2,5-10-3 М, содержащий хлороформ в концентрации 7-10-2 М. Преимуществом данного способа является высокая чувствительность регистрирующей системы, обусловленная тем, что при УФ облучении раствора триптофана в присутствии хлороформа увеличивается квантовый выход фоторазрушения триптофана, что проявляется в большем по величине снижении поглощения раствора при длине волны 280 нм,...

Номер патента: 9323

Опубликовано: 30.06.2007

Автор: Киселев Владимир Иосифович

МПК: H01L 21/02, H01L 21/66, H01L 21/265...

Метки: дозиметрии, имплантации, ионной, четырехзондовой, способ

Текст:

...концентрация основных носителей заряда о(х) постоянна по глубине х резистивного слоя 1 или модуль ее приведенного безразмерного градиента/1 при любом х, на точности косвенного измерения дозы по калибровочной кривой может негативно сказаться технологическая неоднородность / толщины выращенного резистивного слоя 1 в различных точках его поверхности. В случае о(х), известное выражение для ПС легированных полупроводниковых слоев 5 т.е....

Номер патента: 4853

Опубликовано: 30.12.2002

Автор: Киселев Владимир Иосифович

МПК: H01L 21/66

Метки: ионной, дозиметрии, оптической, способ, имплантации

Текст:

...калибровочные функции известного способа, взятого за прототип, для ионов мышьяка с энергией Е 50 кэВ (кривая 1) и фосфора с энергией Е 80 кэВ (кривая 2) при длине волны зондирующего излучения 632,8 нм. На фиг. 2 - зависимости показателя преломления нелегированного поликремния (кривая 3) и монокристаллического кремния (кривая 4) от длины волны зондирующего излучения. На фиг. 3 - зависимости коэффициента поглощения нелегированного...