Вакуумная откачная система

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬВакуумная откачная система, содержащая соединенные с вакуумной камерой две линии откачки, каждая из которых включает насос Рутса, клапаны и форвакуумный насос, причем упомянутые линии соединены между собой двумя трубопроводами с клапанами, отличающаяся тем, что каждая из сторон впуска насоса Рутса одной линии откачки соединена со стороной выхлопа насоса Рутса другой линии откагпси.(73) Патентообладатель Летунов Илья Николаевич (ВУ)Предлагаемое изобретение относится к обЛНСТИ ВНКУУМНОЙ ТЕХНИКИ, В ЧЕСТНОСТИ, К форвакуумньш ротацноъптъш механическим агрегатам на базе насосов Рутса.Известна вакуумная откачная система на базе насосов Рутса, в которой откагшваемый объем через клапаны ПОДКДПОЧВВТСЯ К ОСНОВНОЙ И вспомогательной линии откачки. Основная линия включает в себя пластинчато-роторный насос, клапан н насос Рутса большой производительности. Вспомогательная линия содержит насос Рутса малой производительносгги,два форвакуумнык насоса и холодильник. Линии соединены трубопроводом с клапаном.ОЦЕНКЕ) ИЗВЕСГННЯ СГПСЕЧНЦЯ СИСТЕМЕ не способна обеспечить максимальную производительНОСТЬ, так как ПОСЛВДОВЗТВДШНОЕ ВКЛЮЧЕНИЕ сначала вспомогательной, а затем основной линии и использование насосов Рутса разной производительности удлиняет цикл откачки и не позволяет рационально использовать объемные возможности насосов Рутса.Наиболее близким к заявляемому техничеСЕСИМ решением ЯВЛЯЕТСЯ вакуумная ОТКЗЧНВЯ система на базе насосов Рутса 1, в которой откачиваеьшьпй объем подкшочен к двум шгпгсиям откачки, содержавшая форвакуумные насосы иКЛЗПЗНЫ, ПРИЧЕМ ЛИНИИ СОЕДИНВНЫ ДВУМЯ трубопроводами с клапанами, первый из которых установлен между стороной выхлопа насоса Рутса одной линии и стороной впуска насоса Рутса другой лшшв, а второй соединяет линии со сторон выхлопа насосов Рутса и сторон впуска форвакууъшых насосов.Однако известное техническое решение не ПОЗВОЛЯЕТ произвести ОДНОВРСМСННЫЙ запуск всех насосов системы от атмосферного давления, что снижает быстроту откачки агрегата,кроме того, при коммутации последовательного включения насосов Рутса нет необходимости использовать оба форвакуумных насоса, так как это снижает их ресурс работы и не дает УВЕЛИЧЕНИЯ производительности ОТКЗЧКН.Задачей настоящего изобретения является создание вакуумной откачной системы, которая обеспечивает во всех режимах работы максимальную суммарную быстроту откачки и позволяет получить более низкое предельное остаточное давление.Решение поставленной задачи достигается тем, что в вакуумной откачной системе,содержащей две линии откачки, каждая из которых включает в себя форвакуумный насос, клапаны и насос Рутса, причем упомянутые линии соединены между собой двумя трубопроводами с клапанами таким образом,что каждая из сторон впуска насоса Рутса одной линии откачки соединена со стороной выхлопа насоса Рутса другой линии откачки.Техническим результатом при осуществлеНИИ ИЗООРЕТЕНЦЯ ЯВЛЯЕТСЯ- уменьшение времени откачки за счет увеличения суммарной быстроты откачки при ОДНОВРБМВННОМ запуске ВСЕХ ННСОСОВ ОТ атмосферного давления и параллельной их работе в начале цикла откачки, а также возможность последовательного вкшочения насосов Рутса одинаковой производительности в конце цикла откачкиСНИЖЕНИЕ ПРЕДЕЛЬНОЙ) ОСТЗТОЧНОШ ДЗВДВния в откачиваемом объеме за счет последовательного включення одного из форвакуумнык насосов и двух насосов Рутса, вследствии чего возрастает коэффициент компрессии системы в целом.Изобретение поясняется чертежом, на котором представлена схема заявляемой вакуумной откачной системы.Вакуумная откачная система содержит вакуумную камеру 1, соединенную с двумя линиями откачки. Обе шшви одгшаковы и содержат форвакуумные насосы 2, 3, аварийные клапаны 4, 5 (при отсутствии у форвакуумных насосов встроенных клапанов этого типа), насосы Рутса 6, 7, клапаны 8, 9. Между линиями установлены соединительные трубопроводы 10,11 с клапанами 12, 13, соответственно, соединятощие стороны всасывания и нагнетания насосов Рутса. На вакуумной камере установлен датчик контроля вакуума 14.Вакуумная откачная система работает следующим образом.При включении агрегата в работу производится одновременный запуск всех насосов 2, З, 6, 7. При этом клапаны 4, 5, 8, 9, 12, 13 открыты, трубопроводы 10,11 выполняют в этом случае роль перепускных байпаснык магистралей, обеспечивающих безопасный перепад давлений на насосах Рутса. При достиэкении в камере 1 давления порядка 1000 Па, контролируемого датчиком 14, клапаны 12, 13 закрываются, газ из камеры 1 удаляется по двум параллельным линиям откачки. Клапан 8, насос 6, клапан 4, насос 2 - первая линия. Клапан 9, насос 7, клапан 5, насос З- вторая линия откачки. При достижении следующего порогового значения от 10 до 20 Па ПРОИЗВОДИТСЯ КОММУТЗЦИЯ ПОСЛБДОПЗТСЛЬНОГО включения насосов Рутса двумя способами, в первом случае клапаны 8, 13 закрыты, клапаны 9, 12 открыты, насос 3 выключен. При этом срабатывает аварийный клапан 5, газ удаляется иа камеры 1 через клапан 9, насос 7 по трубопроводу 11, через клапан 12, насос 6,клапан 4, насос 2 на атмосферу. Во втором случае клапаны 8, 13 открыты, клапаны 9, 12 закрыты, насос 2 выключен. При этом срабатывает аварийный клапан 4, газ удаляется из камеры 1 через клапан 8, насос 6, по трубопроводу 10, через клапан 13, насос 7, клапан 5, насос З на атмосферу. Таким образом, в любой момент времени, в процессе работы,агрегат обеспечивает максимальную быстроту откачки при достижении более низкого предельного остаточного давления по сравнению с традиционными агрегатами на базе насосов Рутса. Установка клапанов 4, 5 необязательна,если агрегат комплектуется форвакуумными насосами со встроенными аварийными клапанами.Государственное патентное ведомство Республики Беларусъ.