Тиванов Михаил Сергеевич

Номер патента: 11392

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Тиванов Михаил Сергеевич, Залесский Валерий Борисович, Зарецкая Елена Петровна

МПК: H01L 31/18

Метки: cu(in,ga)(s,se)2, тонкой, способ, пленки, получения

Текст:

...для синтеза однофазной (,)(,)2 пленки. Способ получения (,)(,)2 тонких пленок включает следующую последовательность операций формируют на исходной подложке (или на подложке с проводящим контактом) различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) элементы базового слоя и/или их бинарные селениды, и/или сульфиды с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением отжигают полученную структуру...