Патенты с меткой «cu(in,ga)(s,se)2»

Номер патента: 11392

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Зарецкая Елена Петровна, Залесский Валерий Борисович, Тиванов Михаил Сергеевич, Гременок Валерий Феликсович

МПК: H01L 31/18

Метки: тонкой, способ, получения, пленки, cu(in,ga)(s,se)2

Текст:

...для синтеза однофазной (,)(,)2 пленки. Способ получения (,)(,)2 тонких пленок включает следующую последовательность операций формируют на исходной подложке (или на подложке с проводящим контактом) различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) элементы базового слоя и/или их бинарные селениды, и/или сульфиды с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением отжигают полученную структуру...