Суприянович Владимир Федорович

Номер патента: 2603

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Суприянович Владимир Федорович, Томаль Владимир Степанович, Касинский Николай Константинович

МПК: H05H 15/00, H05H 1/24

Метки: ионный, источник

Текст:

...атомов вольфрама не только при термическом испарении, но также и в результате распыления ионным пучком источника, так как она находится в зоне ионного пучка с высокой плотностью тока. Этот механизм является дополнительным источником вносимых загрязнений в напыляемые оптические покрытия, сокращает время жизни катода, вызывает необходимость постоянного подрегулирования эмиссионной способности катода. Наличие вышеупомянутых источников...