Шильцев Владимир Владимирович
Металлизация интегральной схемы
Номер патента: 14851
Опубликовано: 30.10.2011
Авторы: Шильцев Владимир Владимирович, Глухманчук Владимир Владимирович, Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Довнар Николай Александрович
МПК: H01L 21/28, H01L 23/48, H01L 21/02...
Метки: металлизация, схемы, интегральной
Текст:
...свободно от ограничений, присущих металлизации внутри самой интегральной схемы, и не увеличивает площадь металлизации и кристалла. Двухуровневая структура контактных площадок позволяет реализовать сложные функциональные возможности, заложенные внутри самой интегральной схемы. Толщина и линейные размеры нашлепок определяются лишь требованиями обеспечения процента выхода на операциях Контроль функционирования и Контроль внешнего вида....