Патенты с меткой «микромеханический»

Номер патента: 15235

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Сергеев Евгений Александрович, Таратын Игорь Александрович, Гринчук Анатолий Петрович

МПК: G01N 27/12

Метки: газа, датчик, активного, микромеханический, концентрации, определения

Текст:

...на части подложки, которая выполнена в виде консоли к остальной части подложки и имеет толщину, равную по крайней мере двум областям пространственного заряда 3. Этот интегральный первичный преобразователь концентрации водорода имеет недостаток, заключающийся в том, что его конструкция достаточно сложна в изготовлении за счет наличия МДП-структуры. Известен также микромеханический датчик для определения концентрации активного газа,...