Роговой Владимир Иванович
Способ удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин
Номер патента: 1688
Опубликовано: 30.06.1997
Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Сергеев Виктор Петрович, Роговой Владимир Иванович
МПК: H01L 21/306
Метки: пластин, способ, удаления, кремниевых, поверхности, фоторезиста
Текст:
...опасностью растрескивания пластин вследствие большого перепада температуры при последующей промывке пластин в деионизованной воде с температурой 5010. Деионизованная вода, в которой отмываются пластины от остатков серной кислоты, содержит примеси органического происхождения, как-то частицы ионообменных смол, микроорганизмы. Для их разложения вводится путем барботирования озоносодержащий газ. Органические примеси при концентрации озона 3, 12...