Пуглаченко Елена Георгиевна
Способ контроля качества поверхностей изделий
Номер патента: 8342
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Зеленин Виктор Алексеевич, Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Пуглаченко Елена Георгиевна
МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...
Метки: поверхностей, контроля, способ, качества, изделий
Текст:
...ямок и бугорков различных размеров и форм. Наличие ямки приводит к фокусировке отраженного света, что на топограмме проявляется в появлении более светлого, по сравнению со средней освещенностью топограммы, пятна. Наличие бугорка, наоборот, приводит к расфокусировке света, что проявляется в появлении на топограмме темного пятна. Интенсивность освещения любой точки на экране отражает локальную кривизну контролируемой поверхности в...