Назарова Ольга Игоревна
Устройство регулирования процесса ионного азотирования
Номер патента: U 7897
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Татур Вадим Георгиевич, Махмуд Шеху Ахмед, Назарова Ольга Игоревна, Поболь Игорь Леонидович
МПК: H01J 37/317, C23C 8/36
Метки: регулирования, процесса, ионного, азотирования, устройство
Текст:
...которых разряд достигался от постоянного тока (метод холодной стенки). Серьезным недостатком этого варианта являются большие различия температур в садке и, следовательно, большой разброс результатов обработки, а также сравнительно низкая плотность загрузки, высокое потребление энергии и тесное слияние термических и химических процессов. Существенный прогресс здесь удалось достичь в результате использования пульсирующего разряда 6. Пульсация...