Кобец Анна Вячеславовна
Способ получения адгезионного барьерного слоя никель-фосфор на кремнии
Номер патента: 12790
Опубликовано: 28.02.2010
Авторы: Кобец Анна Вячеславовна, Рева Ольга Владимировна, Врублевская Ольга Николаевна, Воробьева Татьяна Николаевна
МПК: C23C 18/31, H01L 21/02
Метки: способ, адгезионного, слоя, никель-фосфор, получения, кремнии, барьерного
Текст:
...водой и су 4 12790 1 2010.02.28 шат обдувом теплым воздухом. Осаждение никеля происходит неравномерно, в виде пятен, после достижения толщины 0,07 мкм покрытие растрескивается и отслаивается. Пример 4. Кремниевую пластину последовательно обрабатывают в 20 -ном растворев течение 10-15 мин при 20 С, после тщательной промывки водой - в подкисленном растворе 2 состава 2 22 г/дм 3 (можно варьировать от 0,1 до 25 г/дм 3) и 10 см 3/дм 3 8-10...