H01L 29/51 — диэлектрические материалы, относящиеся к электродам

Номер патента: 2259

Опубликовано: 30.09.1998

Авторы: Свиридов Дмитрий Вадимович, Оджаев Владимир Борисович, Азарко Игорь Иосифович, Карпович Игорь Александрович, Козлов Иван Петрович

МПК: H01L 29/51

Метки: переключатель, тонкопленочный

Текст:

...При дальнейшем увеличении энергии ионов происходит заглубление проводящего углеродного слоя внутрь полимера, и он оказывается отделенным от поверхности пористым диэлектрическим слоем. Проводимость имплантированного канала также зависит от типа материала и определяется процентной концентрацией углерода в модифицированном слое полимера. Так, например, установленная методомконцентрация углерода в поврежденном слое, толщина которого...