Азарко Игорь Иосифович
Тонкопленочный переключатель
Номер патента: 2259
Опубликовано: 30.09.1998
Авторы: Козлов Иван Петрович, Свиридов Дмитрий Вадимович, Карпович Игорь Александрович, Оджаев Владимир Борисович, Азарко Игорь Иосифович
МПК: H01L 29/51
Метки: переключатель, тонкопленочный
Текст:
...При дальнейшем увеличении энергии ионов происходит заглубление проводящего углеродного слоя внутрь полимера, и он оказывается отделенным от поверхности пористым диэлектрическим слоем. Проводимость имплантированного канала также зависит от типа материала и определяется процентной концентрацией углерода в модифицированном слое полимера. Так, например, установленная методомконцентрация углерода в поврежденном слое, толщина которого...