H01L 27/00 — Приборы, состоящие из нескольких полупроводниковых или прочих компонентов на твердом теле, сформированных на одной общей подложке или внутри нее

Номер патента: 14780

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Пашкевич Михаил Викторович, Новицкий Николай Николаевич, Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович

МПК: C30B 29/32, H01L 27/00, C30B 23/06...

Метки: наноразмерных, baxsr1-xtio3, получения, пленок, способ

Текст:

...пленки титаната бария-стронция, который заключается в том, что с помощью ионно-лучевого распыления в среде смеси газов аргона и кислорода напыляли буферный слой диоксида титана (2) на подложку из ситала. В дальнейшем на слой Т 2 методом ионно-лучевого распыления при температуре 620640 С наносили наноразмерную пленку 1-3. Недостатком данного способа является большая толщина гетероструктуры пленка 1-3 - буферный слой за счет большей (20 нм)...