Голосов Дмитрий Анатолиевич
Реакторный блок установки эпитаксиального наращивания
Номер патента: 10260
Опубликовано: 28.02.2008
Авторы: Голосов Дмитрий Анатолиевич, Авдеев Сергей Мартинович, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Завадский Сергей Михайлович, Достанко Анатолий Павлович
МПК: C23C 16/00
Метки: установки, реакторный, наращивания, эпитаксиального, блок
Текст:
...реакторный блок установки эпитаксиального наращивания отличается от известного тем, что внутренняя поверхность кожухов выполнена полированной со средней шероховатостью поверхностине более 1 мкм, отражающее покрытие выполнено из алюминия или его сплавов с содержанием не более 1,5 кремния, а поверх отражающего покрытия нанесен защитный слой из оксида кремния толщиной 1-5 мкм. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных...