Патенты с меткой «реакторный»

Номер патента: 10260

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Ануфриев Дмитрий Леонидович, Голосов Дмитрий Анатолиевич, Завадский Сергей Михайлович, Турцевич Аркадий Степанович, Авдеев Сергей Мартинович, Достанко Анатолий Павлович

МПК: C23C 16/00

Метки: наращивания, установки, реакторный, блок, эпитаксиального

Текст:

...реакторный блок установки эпитаксиального наращивания отличается от известного тем, что внутренняя поверхность кожухов выполнена полированной со средней шероховатостью поверхностине более 1 мкм, отражающее покрытие выполнено из алюминия или его сплавов с содержанием не более 1,5 кремния, а поверх отражающего покрытия нанесен защитный слой из оксида кремния толщиной 1-5 мкм. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных...