G01B 15/08 — для измерения шероховатости или неровности поверхностей

Номер патента: 15447

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Петров Сергей Александрович, Шаронов Геннадий Викторович

МПК: G01B 15/08

Метки: алмаза, шероховатости, способ, определения, рентгеновский, поверхности, монокристаллов

Текст:

...на рентгеновской установке УРС 60 с использованием гониометра ГУР-5 и -излучения. Монохроматором служит пластина совершенного кристалла кремния с косым срезом относительно ее отражающей плоскости (111), что позволяет получить практически параллельный пучок. Последнее снижает вклад расходимости пучка в полуширину кривой отражения, и сводит к минимуму инструментальную ошибку при измерениях, и тем самым увеличивает точность определения полуширины...