C23C 13/00 — C23C 13/00
Устройство для нанесения покрытий конденсацией вещества в вакууме с ионной бомбардировкой
Номер патента: U 8230
Опубликовано: 30.06.2012
Авторы: Макаревич Евгений Петрович, Суворов Анатолий Николаевич, Андреев Михаил Анатольевич
МПК: C23C 13/00
Метки: конденсацией, ионной, устройство, вакууме, вещества, бомбардировкой, нанесения, покрытий
Текст:
...и может достигать десятков процентов. Капли металла, конденсируясь на обрабатываемое изделие, имеют низкую прочность сцепления, т.к. их скорость невелика, а диффузионные процессы недостаточно эффективны. Вместе с тем формирование слоя на начальной стадии процесса нанесения покрытий в значительной мере определяет свойства и структуру покрытий в целом. Задачей полезной модели является улучшение качества получаемых покрытий. 2 82302012.06.30...