Патенты с меткой «постоянства»
Способ контроля постоянства физико-химических свойств тонкой пленки по ее объему
Номер патента: 13751
Опубликовано: 30.10.2010
Авторы: Чижик Сергей Антонович, Худолей Андрей Леонидович, Кузнецова Татьяна Анатольевна
МПК: G01N 13/10
Метки: свойств, физико-химических, объему, постоянства, пленки, способ, контроля, тонкой
Текст:
...способа является необходимость использования комбинированного прибора, состоящего, по меньшей мере, из двух прибо 2 13751 1 2010.10.30 ров - атомно-силового микроскопа и дополнительного прибора для аналитических измерений поверхности с контролем атмосферы компьютерными средствами. Задачей настоящего изобретения является упрощение контроля постоянства физикохимических свойств тонкой пленки путем его выполнения только на атомно-силовом...