Патенты с меткой «пленкой»
Способ реставрации пластин с пленкой поликристаллического кремния при изготовлении интегральных микросхем
Номер патента: 18443
Опубликовано: 30.08.2014
Авторы: Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович
МПК: H01L 21/311
Метки: поликристаллического, изготовлении, кремния, пластин, микросхем, интегральных, способ, реставрации, пленкой
Текст:
...проводят удаление углеродсодержащих остатков в кислородной плазме в течение 15-40 с, проводят очистку в перекисно-аммиачном растворе и проводят химическое травление остаточной пленки поликристаллического кремния при температуре 55-65 С в течение 10-20 мин в растворе, содержащем аммиак водный,хлористый аммоний и воду при следующем соотношении компонентов, мас.аммиак водный (в пересчете на 3) 15-80 хлорид аммония 0,04-2,0 вода остальное....
Способ испарения содержащей гликоли жидкости, способ получения высокочистых гликолей, испаритель с падающей пленкой и ректификационная колонна
Номер патента: 6095
Опубликовано: 30.06.2004
Авторы: СТАЦ Хартмут, МОР Йюрген, ПОЛЬТ Аксель, Вернер, КРЮГЕР Зигфрид, ШОЛЛЬ Стефан, ФАНЗАНТ Франс
Метки: гликолей, гликоли, испарения, жидкости, испаритель, ректификационная, пленкой, падающей, получения, высокочистых, содержащей, колонна, способ
Текст:
...подавалось приблизительно равномерно большое количество жидкости. Жидкость затем поступает в испарительные трубки, на стенках которых она стекает вниз и частично испаряется. Приток жидкости регулируют при этом таким образом, чтобы испарялась не вся жидкость, но чтобы и на нижнем конце трубки находилась еще устойчивая пленка жидкости, покрывающая всю внутреннюю стенку трубки. Необходимую для испарения энергию дает греющий пар, который...