Патенты с меткой «пленка sio2–подложка si»

Номер патента: 10215

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Пономарь Владимир Николаевич, Белоус Анатолий Иванович, Сенько Сергей Федорович

МПК: G01L 1/25, H01L 21/66

Метки: напряжений, механических, способ, пленка sio2–подложка si, структуре, кремниевой, контроля

Текст:

...плотность интерференционных линий вне зависимости от ориентации сторон сосредоточена в углах окна. В случае круглого окна в каждой его точке создаются равные условия формирования интерференционной картины, зависящие только от действительных значений напряжений в данном азимутальном направлении. Выбор радиального направления для определения относительного удлинения отделенной от подложки пленки обусловлен тем, что только это удлинение...