Патенты с меткой «пассивации»
Способ пассивации p-n переходов тиристора с меза-канавкой
Номер патента: 11157
Опубликовано: 30.10.2008
Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Шильцев Владимир Викторович, Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Глухманчук Владимир Владимирович
МПК: H01L 21/02
Метки: тиристора, меза-канавкой, способ, пассивации, переходов
Текст:
...менее 8,0 мас.резко ухудшается способность данного слоя к оплавлению. Это приводит к плохой планаризации топологического рельефа и ухудшает качество фотолитографии при формировании рисунка пассивирующих областей из-за уменьшения толщины и обрыва фоторезистивного слоя по краю меза-канавки. В случае суммарного содержания бора и фосфора более 10 мас.при содержании фосфора более 5 мас.слои БФСС будут характеризоваться плохой стойкостью к...