Патенты с меткой «окнах»
Способ удаления полимера в контактных окнах при изготовлении интегральных микросхем
Номер патента: 17503
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна
МПК: B08B 3/12, H01L 21/02
Метки: окнах, контактных, полимера, изготовлении, интегральных, удаления, микросхем, способ
Текст:
...в ванне с протоком воды. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения поставленной задачи не обнаружено. При частоте мегазвука менее 500 кГц наблюдаются остатки полимера в контактных окнах. При частоте мегазвука выше 1000 кГц наблюдается отслаивание и растрав силицида титана в контактных окнах. При обработке в течение времени менее 10 мин наблюдаются остатки полимера в контактных окнах. При обработке...