Патенты с меткой «количественных»
Устройство для получения количественных характеристик дефектов поверхности изделий
Номер патента: 13857
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сякерский Валентин Степанович, Сенько Сергей Федорович
МПК: H01L 21/66, G01N 21/88, G01B 11/30...
Метки: поверхности, дефектов, изделий, количественных, характеристик, получения, устройство
Текст:
...содержащее точечный источник оптического излучения, держатель изделий и экран, содержит расположенную между источником излучения и держателем изделий координатную сетку, а также тем, что в качестве координатной сетки используют фотошаблон топологических структур полупроводниковых приборов. Сущность заявляемого технического решения заключается в формировании на контролируемой поверхности светотеневой координатной сетки, искажение...