Патенты с меткой «гетеропереходного»
Способ изготовления гетеропереходного светодиода
Номер патента: 16935
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Шумило Виктор Степанович, Сычик Василий Андреевич
МПК: H01L 33/20
Метки: гетеропереходного, светодиода, способ, изготовления
Текст:
...к -слою из узкозонного полупроводника. Средняя скорость формирования металлического слоя составляет 100200 /с, а температура нагрева основания составляет 300350 С. Стравливают плоскую поверхность полупроводникового основания р-типа методом ионно-плазменного травления для получения бездефектной структуры и удаления окисной пленки и инородной поверхностной примеси. Скорость травления составляет 3040 /с, а температура процесса 300400 С....