Патенты с меткой «галогенами»

Номер патента: U 2150

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Россол Александр Иванович, Подденежный Евгений Николаевич, Бойко Андрей Андреевич, Алексеенко Александр Анатольевич

МПК: C03B 8/02

Метки: легирования, материалов, устройство, халькогенидами, галогенами

Текст:

...равномерно проникать через поры заготовки. Вакуумный пост, содержащий непосредственно вакуумный насос, два поглотителя, в один из которых помещен раствор щелочи, и регулирующие краны, предназначен для создания и контроля в камерах давления 10-15 Па, поддержания такого давления в процессе легирования при нагреве и охлаждении камер, нейтрализации токсичных продуктов реакции, предотвращения последствий и возможных нештатных ситуаций (выход из...