Патенты с меткой «фоторезистивный»

Номер патента: 5334

Опубликовано: 30.09.2003

Авторы: Юрченок Лариса Григорьевна, Хитько Валентин Иванович

МПК: H01L 31/10

Метки: фоторезистивный, ключ

Текст:

...(1-9)1014 см-3, приконтактныйслой- типа - 3, толщиной 0,2 мкм с концентрацией (2-8)1018 см-3 - методом напыления наносятся // слои толщиной 0,1/0,05/0,6 мкм соответственно, являющиеся после проведения процесса взрывной фотолитографии, токоведущей металлической шиной 4, образующей с - приконтактным слоем 3 полупроводниковой пластины после вжигания омический контакт. Далее методами химического или плазмохимического травления удаляется-...