Патенты с меткой «cu2znsn(se,s)4»

Способ формирования пленки соединения Cu2ZnSn(Se,S)4

Загрузка...

Номер патента: 11393

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Зарецкая Елена Петровна

МПК: H01L 31/18

Метки: пленки, способ, cu2znsn(se,s)4, формирования, соединения

Текст:

...2(,)4 пленки. Способ получения 2(,)4 тонких пленок включает следующую последовательность операций формирование на исходной подложке (или на подложке с проводящим контактом) различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) элементов базового слоя (С, ), (либо их бинарных селенидов и/или сульфидов) с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением отжиг полученной структуры в парах серы и селена...